Izkliedētā silīcija spiediena sensoru raksturojums

Salīdzinot ar citu principu sensoriem, izkliedētā silīcija spiediena sensoriem ir šādas īpašības:

1. Piemērots maza diapazona sensoru izgatavošanai. Silīcija mikroshēmas spēka jutīgā rezistora pjezorezistīvajam efektam nav mirušās zonas zemajā diapazonā tuvu nullei, un spiediena sensora diapazons var būt pat vairāki Kpa.

2. Augsta izvades jutība. Silīcija deformācijas pretestības jutīguma koeficients ir 50-100 reizes lielāks nekā metāla deformācijas mērītāja jutības koeficients, tāpēc atbilstošā sensora jutība ir ļoti augsta, un vispārējā diapazona jauda ir aptuveni 100 mv. Tāpēc saskarnes shēmai nav īpašu prasību, un to ir ērtāk lietot.

3. Augsta precizitāte. Tā kā sensora sensoru, jutīgo pārveidošanu un noteikšanu realizē viens un tas pats komponents, nav starpposma pārveidošanas saites, un atkārtojamības un histerēzes kļūdas ir nelielas. Tā kā pašam monokristāliskam silīcijam ir liela stingrība un neliela deformācija, tiek garantēta laba linearitāte.

4. Sakarā ar darba vienības zemo deformāciju mikro deformācijas kārtībā, elastīgās mikroshēmas maksimālais pārvietojums ir mazāks par mikronu, tāpēc nav nodiluma, noguruma, novecošanas un servisa. kalpošanas laiks ir tikpat garš kā 1 × 103 spiediena cikli, ar stabilu veiktspēju un augstu uzticamību.

5. Pateicoties izcilajām silīcija ķīmiskajām pretkorozijas īpašībām, pat neizolētiem izkliedētā silīcija spiediena sensoriem ir ievērojama spēja pielāgoties dažādiem materiāliem.

6. Tā kā mikroshēmā tiek izmantota integrēta tehnoloģija un tai nav transmisijas daļu, tā ir maza izmēra un viegla.

Jebkurš jautājums par mūsuUPB1silīcija spiediena raidītājs, lūdzu, sazinietiesStella Menga.